龙门式影像测量仪的标准校准方法

更新时间：2026-02-05

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龙门式影像测量仪通常采用光学技术和图像分析算法，确保测量结果的准确性和一致性，适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。

X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高速度快，运行平稳；

花岗石直线度和玻璃平面度好，花岗石导轨无摩擦、不磨损；

可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷；

采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力；

具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能。

标准校准方法：

1.使用标准量块进行像素尺寸校准

将已知尺寸的标准量块放置于工作台中央，调整焦距至图像清晰。

测量其在X、Y方向上的像素尺寸，计算实际长度与像素比值，得出校准系数。

校准后可在全量程多个点位（如0mm、200mm、500mm及对角线）重复测试，确保线性精度。

2.精度检验板校准

采用带有精确刻线或圆形特征的专用检验板，测量其几何参数（如圆心距、直线度）。

比较测量结果与标称值，计算偏差，判断是否在允许误差范围内（如(3+L/200)μm）。

3.激光干涉仪或玻璃线纹尺比对

使用更高精度的标准器（如激光干涉仪）作为基准，覆盖全行程至少7个校准点。

此方法适用于高精度要求场景，可检测二维示值误差（Exy）和Z轴误差（Ez）。